世界大百科事典（旧版）内の光励起 CVD 法の言及
【薄膜】より
…SiH4の分解による非晶質Siの生成，SiH4とN2の混合ガスの反応によるSi3N4の生成などの例があり，また炭化水素系ガスのプラズマCVD法では，条件により，ダイヤモンド，グラファイトの薄膜ができる一方，重合によりポリマーの薄膜が形成されることもある。さらに電力のかわりにレーザー光など光エネルギーを導入して反応を起こさせる光励起CVD法も注目を集めつつある。このほか，特殊な薄膜製作法として，水の上に直鎖型脂肪酸を広げて単分子層をつくり，これを基板上にすくう方法がある。…
※「光励起 CVD 法」について言及している用語解説の一部を掲載しています。
出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」