薄膜IC（読み）ハクマクアイシー

デジタル大辞泉「薄膜IC」の意味・読み・例文・類語

《thin film IC》シリコンウエハーの基板上に、蒸着やフォトリソグラフィー技術により多数の回路素子を配する集積回路。通常のIC・LSI・VLSIを指す。厚膜ICに比べ、格段に集積度を高めることができる。薄膜集積回路。薄膜回路。

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薄膜集積回路ともいい，膜集積回路の一種。

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