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エピタキシャル・プレーナ型ダイオード エピタキシャル・プレーナがたダイオード epitaxial planar diode

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ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

エピタキシャル・プレーナ型ダイオード
エピタキシャル・プレーナがたダイオード
epitaxial planar diode

エピタキシャル技術による結晶成長層に作製したダイオード。この技術により成長させた結晶層の表面には,通常,ウエハ作製時に生じる機械的損傷がない。またp-n接合界面を二酸化シリコン膜により保護できるため,メサ型にする必要はなく,その形状は平板状 (プレーナ) である。

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出典|ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典
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