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サブミクロン技術 サブミクロンぎじゅつ

大辞林 第三版の解説

サブミクロンぎじゅつ【サブミクロン技術】

半導体集積回路の中心となる微細加工・生産技術のこと。

出典 三省堂大辞林 第三版について 情報

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