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シグムントの式 Sigmund's formula

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法則の辞典の解説

シグムントの式【Sigmund's formula】

イオン照射によるスパッタリング収量(照射イオン1個当たりに放出される原子の数)は,イオンと原子の弾性衝突の結果固体の表面近傍に与えられるエネルギーに比例する.

垂直に入射したイオンによるスパッタリング収量(Y)は下のような式で表される.これがシグムントの式である.

ここで α は入射イオンの質量 M1 と標的原子の質量 M2 との比によって定まる定数,SnE)は弾性衝突による阻止断面積,Us は表面結合エネルギーであるが通常は昇華エネルギーで代用される.

出典|朝倉書店
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