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マイクロ・マシニング マイクロマシニング micro-machining

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ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

マイクロ・マシニング
マイクロマシニング
micro-machining

超微細加工。 LSIや光学素子などの数μm以下の微細な形状を作り出す加工技術をさらに高めて,数十μm程度の歯車やマイクロ・アクチュエーターなどの微小機械まで作ってしまう加工技術のこと。

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出典|ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典
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