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モノシラン モノシラン monosilane

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デジタル大辞泉の解説

モノシラン(monosilane)

珪素(けいそ)水素化物シランの一つ。半導体太陽電池など高純度珪素の製造原料となる。シリコメタン化学式SiH4

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世界大百科事典内のモノシランの言及

【シラン】より

…SinH2n+2の組成をもつ水素化ケイ素silicon hydrideの総称。狭義にはモノシランSiH4を指す。水素化ケイ素はケイ化マグネシウムMg2Siあるいは亜鉛やリチウムのケイ化物に酸を作用させると得られ,モノシラン,ジシランSi2H6,トリシランSi3H8,テトラシランSi4H10などが得られる。…

※「モノシラン」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

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