世界大百科事典(旧版)内のレーザー・ビームアニールの言及
【集積回路】より
…石英管中にウェーハーを入れ,外部から電熱線,または赤外線ランプで加熱する。今後はレーザービームでウェーハー上の特定の領域のみを選択的に走査して加熱するレーザービームアニールが多く用いられよう。(3)特定の種類の元素をウェーハー,または表面の膜中に導入すること。…
※「レーザー・ビームアニール」について言及している用語解説の一部を掲載しています。
出典|株式会社平凡社「世界大百科事典(旧版)」
…石英管中にウェーハーを入れ,外部から電熱線,または赤外線ランプで加熱する。今後はレーザービームでウェーハー上の特定の領域のみを選択的に走査して加熱するレーザービームアニールが多く用いられよう。(3)特定の種類の元素をウェーハー,または表面の膜中に導入すること。…
※「レーザー・ビームアニール」について言及している用語解説の一部を掲載しています。
出典|株式会社平凡社「世界大百科事典(旧版)」
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