六弗化ブタジエン(ロクフッカブタジエン)とは？意味や使い方

デジタル大辞泉「六弗化ブタジエン」の意味・読み・例文・類語

弗素化合物の一。半導体集積回路の製造工程において、ドライエッチングの洗浄剤として用いられる。大気寿命が短いため、環境負荷が小さく、地球温暖化係数が高いトリフルオロメタンなどの代替品となる。ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン。化学式C₄F₆

出典　小学館デジタル大辞泉について　情報 | 凡例

今日のキーワード

敵対的買収に対する防衛策のひとつ。買収対象となった企業が、重要な資産や事業部門を手放し、買収者にとっての成果を事前に減じ、魅力を失わせる方法である。侵入してきた外敵に武器や食料を与えないように、事前に...