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多孔質シリコン タコウシツシリコン

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デジタル大辞泉の解説

たこうしつ‐シリコン【多孔質シリコン】

電気化学的な処理でシリコンウエハーの表面に多数の細孔を形成したもの。光ルミネセンスにより赤色光、青色光を発することが知られる。ポーラスシリコン

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監修:松村明
編集委員:池上秋彦、金田弘、杉崎一雄、鈴木丹士郎、中嶋尚、林巨樹、飛田良文
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