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多孔質シリコン タコウシツシリコン

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デジタル大辞泉の解説

たこうしつ‐シリコン【多孔質シリコン】

電気化学的な処理でシリコンウエハーの表面に多数の細孔を形成したもの。光ルミネセンスにより赤色光、青色光を発することが知られる。ポーラスシリコン

出典|小学館
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