高温ポリシリコン（読み）コウオンポリシリコン

デジタル大辞泉「高温ポリシリコン」の意味・読み・例文・類語

セ氏1000度以上で形成する多結晶シリコン。アモルファスシリコンを再結晶させることで形成する。高温に耐える石英ガラス基板を使用する必要があり、製造コストが高く、大型化が困難という欠点をもつ。HTPS（high temperature polysilicon）。→低温ポリシリコン

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