コトバンクはYahoo!辞書と技術提携しています。

MOCVD エムオーシーブイディーmetal organic chemical vapor deposition

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

MOCVD
エムオーシーブイディー
metal organic chemical vapor deposition

有機金属原料を用いた気相成長法で,GaAs (ガリウムヒ素) や AlGaAs (アルミニウムガリウムヒ素) などのエピタキシャル結晶を成長させる量産性に優れた方法 (→エピタキシャル技術 ) 。通常,Al (アルミニウム) ,Ga (ガリウム) ,In (インジウム) などの III族元素のアルキル化合物は常温で液体であり,キャリアガスによってバブリングさせ,反応チャンバに送る。V族の元素である As (ヒ素) ,P (リン) などは水素化物原料を利用する。比較的低温度で結晶成長が可能であり,不純物プロファイルを急峻にできる。異種基板へのヘテロエピタクシーが可能であり,ハロゲン化物を使う CVDと比べて基板や石英反応管のエッチングがない特長がある反面,成長層に炭素が混入するなどの問題がある。

出典 ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典について 情報

デジタル大辞泉の解説

エム‐オー‐シー‐ブイ‐ディー【MOCVD】[metal organic chemical vapor deposition]

metal organic chemical vapor deposition》⇒有機金属気相成長法

出典 小学館デジタル大辞泉について 情報 | 凡例

MOCVDの関連キーワードヒ化ガリウム気相成長法

今日のキーワード

桃李もの言わざれども下自ら蹊を成す

《「史記」李将軍伝賛から》桃やすももは何も言わないが、花や実を慕って人が多く集まるので、その下には自然に道ができる。徳望のある人のもとへは人が自然に集まることのたとえ。...

続きを読む

コトバンク for iPhone

コトバンク for Android