世界大百科事典（旧版）内のatom-probe FIMの言及
【電界イオン顕微鏡】より
…また電界蒸発法によって試料表面から1原子層ずつ正確に制御しながら蒸発除去することができるようになったので，これと電界イオン顕微鏡観察とを交互に行うことによって試料の三次元的な原子配列の情報を得ることも可能となった。さらに1970年ころから観察した個々の原子の種類を識別するため，電界イオン顕微鏡に単一異種原子を分析できる質量分析計を付加した装置が開発され，アトム･プローブ電界イオン顕微鏡atom‐probe FIMと呼ばれている。 電界イオン顕微鏡およびアトム･プローブ電界イオン顕微鏡は結晶格子欠陥，相変態の初期過程，酸化，表面吸着，拡散，放射線損傷，非晶質合金の結晶化過程など，金属工学および固体物理学の広い範囲にわたって有力な研究手段となりつつある。…
※「atom-probe FIM」について言及している用語解説の一部を掲載しています。
出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」