世界大百科事典（旧版）内のmicro lithographyの言及
【フォトファブリケーション】より
…なかでも半導体集積回路の製造に関しては重要な役割を果たしており，LSIから超LSIへの発展の中心的な技術となっている。この分野の技術はマイクロリソグラフィーmicro lithographyと称されている。超LSIの高集積化が進むとともに素子の微細化も著しく，μmから0.1μmのオーダーの加工精度を得るために，露光する光として紫外光から遠紫外線，さらにはX線と短波長を，または電子ビームやイオンビームのような荷電粒子を用いるようになってきている。…
※「micro lithography」について言及している用語解説の一部を掲載しています。
出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」