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photo-etching photoetching

世界大百科事典内のphoto-etchingの言及

【フォトファブリケーション】より

…またマイクロリソグラフィーの技術として前出の二つの方法以外に薄膜技術を応用したリフトオフも用いられている。
[フォトエッチングphoto‐etching]
 加工を必要とする基板に,フォトレジストのパターンを形成した後,基板を溶解する溶液でエッチングして穿孔もしくはくぼみを作る方法である(図)。基板は多くは金属であるが,ガラスやプラスチックにも適用可能である。…

※「photo-etching」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

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