シリコンウェファー

化学辞典 第2版 「シリコンウェファー」の解説

シリコンウェファー
シリコンウェファー
silicon wafer

シリコンウエハともいう.シリコン(ケイ素)の円柱状の単結晶を,薄く切り出した円盤状の板をいう.半導体産業における母材ともいうべきものである.直径は5,8,12インチが一般的で,この上に回路パターンを露光し,エッチングなどの処理をほどこして集積回路(IC)を作製する.通常,1枚のウェファー上に同じ集積回路を同時に多数作製し,これらを個別に切り出してICチップにする.

出典 森北出版「化学辞典(第2版)」化学辞典 第2版について 情報

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