エピタクシー(英語表記)epitaxy

翻訳|epitaxy

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典 「エピタクシー」の意味・わかりやすい解説

エピタクシー
epitaxy

単結晶表面基板として,その上に同種あるいは異種物質の薄膜状の単結晶がある一定方向をとって成長する現象のこと。結晶化学的に類似しているか,2結晶が接合する部分原子間距離がきわめて近い場合にみられる。基板結晶上にその結晶と同一方位をもつ単結晶を成長させるエピタキシャル技術半導体分野で非常に重要な技術である。

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