トリフルオロメタンとは？意味や使い方

デジタル大辞泉「トリフルオロメタン」の意味・読み・例文・類語

フロンの一。メタンを構成する水素原子3個を弗素原子3個と置換した化合物。エアコンや冷蔵庫の冷媒のほか、半導体集積回路の製造工程において、ドライエッチングの洗浄剤として用いられる。温室効果ガスの一種で、二酸化炭素の約1万5千倍の地球温暖化係数をもつ。フルオロホルム。HFC-23。化学式CHF₃

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