低温ポリシリコン（読み）テイオンポリシリコン

デジタル大辞泉「低温ポリシリコン」の意味・読み・例文・類語

セ氏600度以下で形成できる多結晶シリコン。薄膜トランジスター（TFT）の基板を製造する際、石英ガラス基板を必要とする高温ポリシリコンに比べ、安価なガラス基板を用いることができ、大型化が容易という利点がある。LTPS（low temperature polysilicon）。

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