出典 精選版 日本国語大辞典精選版 日本国語大辞典について 情報
高速に回転している壁を用いて気体分子に一定方向の運動量を与えることにより,排気能力をもたせた機械ポンプであり,W. Gaedeによって発明されたものと,W. Beckerによって発明されたターボモレキュラーポンプとがある.現在ではもっぱら後者が使われている.
出典 森北出版「化学辞典(第2版)」化学辞典 第2版について 情報
出典 ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典について 情報
…真空ポンプは1基で1atm以下の全領域にわたる真空を作りだす機能はもたず,2基以上のものを組み合わせる必要がある。この場合,排気気体を大気に放出させる補助ポンプを併用し,高真空を作りだすポンプをとくに高真空ポンプと呼び,拡散ポンプ,分子ポンプなどがある。補助ポンプには油回転ポンプ,ソープションポンプなどがある。…
※「分子ポンプ」について言及している用語解説の一部を掲載しています。
出典|株式会社平凡社「世界大百科事典(旧版)」
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