半導体製造装置(ハンドウタイセイゾウソウチ)とは？意味や使い方

デジタル大辞泉「半導体製造装置」の意味・読み・例文・類語

半導体集積回路を製造するための装置の総称。半導体に不純物を添加（ドーピング）する装置、ウエハーを製造する装置、回路パターンの焼き付け（フォトリソグラフィー）をする露光装置、組み立てや検査をする装置などを指す。

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