EUVリゾグラフィ（読み）いーゆーぶいりぞぐらふぃ

ASCII.jpデジタル用語辞典「EUVリゾグラフィ」の解説

超紫外線露光技術。従来のDUV（遠紫外線）リゾグラフィに比べて、20分の1程度という極めて波長の短い超紫外線を利用することで、非常に微細な回路パターンをシリコンウェハ上に焼き付けられる。

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