MIS(ミス)（読み）ミス

化学辞典 第2版

MIS(ミス)
ミス

metal-insulator-semiconductorの略称．現在，集積回路で主流となっているMOS(モス)トランジスターのもととなる金属/絶縁膜/半導体構造のこと．金属のゲートと絶縁膜と半導体からなる構造をつくることで，金属電極からの電気力線により半導体表面に電荷を誘起して，半導体表面の電気伝導を制御する．Siを半導体として用いているトランジスターでは，特別に誘電体としてSiの酸化物であるSiO₂が用いられることから，オキサイドのOをとり，metal-oxide-siliconを略称してMOSとよんでいる．液晶ディスプレイのスイッチング素子として用いられているアモルファスシリコン薄膜トランジスターは，絶縁膜として窒化シリコン膜を用いており，MIS構造の代表例といえる．

出典　森北出版「化学辞典（第2版）」