X線マイクロアナライザー（読み）エックスセンマイクロアナライザー

化学辞典 第2版

X線マイクロアナライザー
エックスセンマイクロアナライザー
X-ray microanalyser

蛍光X線を用いる分析法の一つ．電子線マイクロアナライザー(electron-probe microanalyser，EPMA)ともいう．直径 μm 以下の細い電子ビームで試料を走査して，各微小点から出る特性X線を分光して元素分析を行う．非破壊分析ができるので応用範囲が広く，金属や半導体などの単結晶中の欠陥や，不純物の分布状態，また生体試料中の重金属などの分布状態などが分析できる．検出できる濃度は30 ppm が限度であり，検出できる量は濃度により異なるが，たとえば 10^－14 g μm^－3 が限度である．定性分析はNa以上の元素について可能であるが，定量分析の精度はやや低い．電子線発生部と集束レンズ系などは電子顕微鏡のそれとよく似ており，分析か所の観察には光学顕微鏡も用いられる．発生した蛍光X線の分光には湾曲結晶モノクロメーターが用いられ，複数個の分光器を備えて多くの元素を同時に検出できるようにしたものもある．

出典　森北出版「化学辞典（第2版）」

日本大百科全書(ニッポニカ)

X線マイクロアナライザー
えっくすせんまいくろあならいざー

試料上に直径を1マイクロメートル（100万分の1メートル）程度に細く絞った電子線を照射し、被照射部分から発生する固有X線を利用して、その部分の定性、定量分析を行う装置。この方法は1949年に発表され、X線マイクロアナライザーとよばれていたが、現在は電子線マイクロアナライザーとよばれている。

［高田健夫・編集部］

[参照項目] | 電子線マイクロアナライザー

出典　小学館　日本大百科全書(ニッポニカ)