X線光電子分光（読み）エックスセンコウデンシブンコウ

化学辞典 第2版

X線光電子分光
エックスセンコウデンシブンコウ
X-ray photoelectron spectrometry

略称XPSまたはESCA(エスカ，electron spectroscopy for chemical analysis)．試料にX線を照射し，試料から放出される光電子の運動エネルギーを精度よく測定して，試料の表面分析を行う方法．照射するX線のエネルギーを E₀ とし，放出される光電子の運動エネルギーを

(1/2)mv²(mは電子の質量，vは電子の速度)
とすると，この差

E₀ － (1/2)mv²
が放出された電子の試料中における結合エネルギーとなる．結合エネルギーは元素に特徴的であるから，試料中の元素の特定ができる．また，結合状態によって結合エネルギーに微小な変化があるから，元素の酸化状態などに関する情報も得られる．水素を除くすべての元素の同定，定量，および状態分析が可能である．透過力が強い軟X線を励起源としているため，非破壊で分析ができる．放出される光電子は試料中で自由行程が非常に短いので，試料表面層の分析が可能である．ただし，固体に限られる．

出典　森北出版「化学辞典（第2版）」