デジタル大辞泉 「半導体製造装置」の意味・読み・例文・類語 はんどうたい‐せいぞうそうち〔ハンダウタイセイザウサウチ〕【半導体製造装置】 半導体集積回路を製造するための装置の総称。半導体に不純物を添加（ドーピング）する装置、ウエハーを製造する装置、回路パターンの焼き付け（フォトリソグラフィー）をする露光装置、組み立てや検査をする装置などを指す。 出典 小学館デジタル大辞泉について 情報 | 凡例
