半導体露光装置（読み）ハンドウタイロコウソウチ

デジタル大辞泉「半導体露光装置」の意味・読み・例文・類語

シリコンウエハーの基板上に集積回路のパターンを焼き付ける装置。基板をステップ状に移動させるステッパーと、基板とフォトマスクを同時に動かすスキャナーの二方式がある。縮小投映露光装置。

出典　小学館デジタル大辞泉について　情報 | 凡例

東海沖から九州沖の海底に延びる溝状の地形(トラフ)沿いで、巨大地震発生の可能性が相対的に高まった場合に気象庁が発表する。2019年に運用が始まった。想定震源域でマグニチュード(M)6・8以上の地震が...