世界大百科事典（旧版）内のコンタクトホールの言及
【集積回路】より
…次に全面にシリコン酸化膜をCVDでつけ，ソース，ドレーンおよびゲートの電気的接続個所に穴をあける。これをコンタクトホールという。この上にアルミニウムを蒸着，またはスパッターでつけて配線に必要な部分以外をフォトエッチングで除去する。…
※「コンタクトホール」について言及している用語解説の一部を掲載しています。
出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」
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