単電子デバイス（読み）タンデンシデバイス

化学辞典 第2版

単電子デバイス
タンデンシデバイス
single electron device

電子1個の動きに対応する電荷の変化を検出して0と1をつくりだそうとするデバイス．究極の電子デバイスと考えられる．熱のじょう乱により信号が変化してしまう可能性があり，常温では電子を閉じ込める領域を小さくしなければならず，技術的に難しいとされており，液体ヘリウムの極低温でしか動作が確認されていなかった．しかし，3 nm 膜厚のポリシリコン極薄膜シリコンや，SIMOX(separation by implanted oxgen)技術の応用で酸化を利用したPADOX(pattern-dependent oxidation)法により，10 nm 以下の細線にすると電子を単体で閉じ込めることが可能となり，室温動作ができるようになった．前者の技術を用いた128 MBit の単電子メモリーの報告がある．[別用語参照]量子ドット，クーロンブロケイド

出典　森北出版「化学辞典（第2版）」