シリコンゲートプロセス(読み)しりこんげーとぷろせす

世界大百科事典(旧版)内のシリコンゲートプロセスの言及

【集積回路】より

…自己整合は,前の工程で形成されたパターンを利用して,次の工程におけるパターン形成を高精度の位置合せなしで行う方法である。これは後述するシリコンゲートプロセスで最初に提案された思想で,現在ではLSIプロセス設計の基本の一つとなっている。この考え方を,緑色の地に青色の円形を描く場合の例で説明しよう。…

※「シリコンゲートプロセス」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典|株式会社平凡社「世界大百科事典(旧版)」

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