世界大百科事典（旧版）内のシリコンゲートプロセスの言及
【集積回路】より
…自己整合は，前の工程で形成されたパターンを利用して，次の工程におけるパターン形成を高精度の位置合せなしで行う方法である。これは後述するシリコンゲートプロセスで最初に提案された思想で，現在ではLSIプロセス設計の基本の一つとなっている。この考え方を，緑色の地に青色の円形を描く場合の例で説明しよう。…
※「シリコンゲートプロセス」について言及している用語解説の一部を掲載しています。
出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」