ペニング真空計（読み）ぺにんぐしんくうけい

世界大百科事典（旧版）内のペニング真空計の言及

【真空計】より

…この方式によって10^－8Pa(10^－10Torr)程度の超高真空まで計測が可能になった。熱電子によらずに，磁場中の放電によって気体分子の電離を行い，イオンを得るものをペニング真空計という。工業計器としては使われることが多いが，精度がない。…

※「ペニング真空計」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」