世界大百科事典(旧版)内のペニング真空計の言及
【真空計】より
…この方式によって10-8Pa(10-10Torr)程度の超高真空まで計測が可能になった。熱電子によらずに,磁場中の放電によって気体分子の電離を行い,イオンを得るものをペニング真空計という。工業計器としては使われることが多いが,精度がない。…
※「ペニング真空計」について言及している用語解説の一部を掲載しています。
出典|株式会社平凡社「世界大百科事典(旧版)」
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