世界大百科事典（旧版）内のマグネトロンスパッタリングの言及
【薄膜】より
…ターゲットが絶縁物のときは帯電を防ぐため107Hz程度の交流をかける(高周波スパッタリング)。またイオンの生成の効率をあげるため，ターゲット近傍に磁場をかける方法をマグネトロンスパッタリングといい，現在工業的に利用される方法はほとんどこの形である。イオン化されるガスがO2,N2,CH4など活性のガスであると，スパッタリングの過程で反応により酸化物，窒化物，炭化物などができる。…
※「マグネトロンスパッタリング」について言及している用語解説の一部を掲載しています。
出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」