レーザー・ビームアニール（読み）れーざーびーむあにーる

世界大百科事典（旧版）内のレーザー・ビームアニールの言及

【集積回路】より

…石英管中にウェーハーを入れ，外部から電熱線，または赤外線ランプで加熱する。今後はレーザービームでウェーハー上の特定の領域のみを選択的に走査して加熱するレーザービームアニールが多く用いられよう。(3)特定の種類の元素をウェーハー，または表面の膜中に導入すること。…

※「レーザー・ビームアニール」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」