化学輸送法(読み)かがくゆそうほう

世界大百科事典内の化学輸送法の言及

【薄膜】より

…例えばSiCl4ガスをH2とともに加熱するとSiが析出する。化合物薄膜の形成には化学輸送法が用いられる。この方法は反応槽に温度こう配をつけることが特徴で,例えば,高温側(~850℃)にGaをおいてここにAsCl3ガスを送り込んで揮発性のGaClを生成し,このガスを低温側(~750℃)に拡散させてAs4と反応させ,GaAsの薄膜を析出させる。…

※「化学輸送法」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典|株式会社平凡社世界大百科事典 第2版について | 情報

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