化学輸送法（読み）かがくゆそうほう

世界大百科事典（旧版）内の化学輸送法の言及

【薄膜】より

…例えばSiCl₄ガスをH₂とともに加熱するとSiが析出する。化合物薄膜の形成には化学輸送法が用いられる。この方法は反応槽に温度こう配をつけることが特徴で，例えば，高温側(～850℃)にGaをおいてここにAsCl₃ガスを送り込んで揮発性のGaClを生成し，このガスを低温側(～750℃)に拡散させてAs₄と反応させ，GaAsの薄膜を析出させる。…

※「化学輸送法」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」