世界大百科事典（旧版）内の反応性イオンプレーティングの言及
【イオンプレーティング】より
…さらに，この放電雰囲気中に蒸発金属とともに反応性ガスを通過させると，反応性ガスも活性化し，窒化チタンTiN，炭化チタンTiC，窒化タンタルTaNのような金属間化合物の蒸着を行うことができる。これを反応性イオンプレーティングという。この方法でできるTiNは，金に近い色調をもち，硬度が高くて傷がつきにくいなどの利点に加え，金めっきよりは安価であるため装飾用めっきとして多用されている。…
※「反応性イオンプレーティング」について言及している用語解説の一部を掲載しています。
出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」
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