反応性スパッタリング（読み）はんのうせいすぱったりんぐ

世界大百科事典（旧版）内の反応性スパッタリングの言及

【薄膜】より

…イオン化されるガスがO₂,N₂,CH₄など活性のガスであると，スパッタリングの過程で反応により酸化物，窒化物，炭化物などができる。これを利用する方法を反応性スパッタリングといい，化合物薄膜形成技術として重要である。　真空蒸着装置中に活性ガスを入れ，直流または高周波電場で放電プラズマを発生させ，蒸発源からの原子をそのプラズマをくぐらせて蒸着すると，原子は励起またはイオン化され，反応性が促進され良質の化合物薄膜が形成される(イオンプレーティングion plating)。…

※「反応性スパッタリング」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」