世界大百科事典（旧版）内の反応性スパッタリングの言及
【薄膜】より
…イオン化されるガスがO2,N2,CH4など活性のガスであると，スパッタリングの過程で反応により酸化物，窒化物，炭化物などができる。これを利用する方法を反応性スパッタリングといい，化合物薄膜形成技術として重要である。 真空蒸着装置中に活性ガスを入れ，直流または高周波電場で放電プラズマを発生させ，蒸発源からの原子をそのプラズマをくぐらせて蒸着すると，原子は励起またはイオン化され，反応性が促進され良質の化合物薄膜が形成される(イオンプレーティングion plating)。…
※「反応性スパッタリング」について言及している用語解説の一部を掲載しています。
出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」