反応性スパッタリング(読み)はんのうせいすぱったりんぐ

世界大百科事典内の反応性スパッタリングの言及

【薄膜】より

…イオン化されるガスがO2,N2,CH4など活性のガスであると,スパッタリングの過程で反応により酸化物,窒化物,炭化物などができる。これを利用する方法を反応性スパッタリングといい,化合物薄膜形成技術として重要である。 真空蒸着装置中に活性ガスを入れ,直流または高周波電場で放電プラズマを発生させ,蒸発源からの原子をそのプラズマをくぐらせて蒸着すると,原子は励起またはイオン化され,反応性が促進され良質の化合物薄膜が形成される(イオンプレーティングion plating)。…

※「反応性スパッタリング」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典|株式会社平凡社世界大百科事典 第2版について | 情報

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