世界大百科事典（旧版）内の希ガスプラズマの言及
【プラズマ発光法】より
…アルゴンやヘリウムといった希ガス元素を気体状態でプラズマ放電させて4000～1万Kの高温媒体を生成し，そのプラズマ中に試料溶液を導入して，原子，イオン，分子の発光強度から試料中の目的元素の定量または定性を行う分析法。アルゴンやヘリウムのプラズマを希ガスプラズマとも呼ぶが，このようなプラズマは直流プラズマ，高周波プラズマ，マイクロ波プラズマとも分類されるように，プラズマの生成･維持には直流電流，高周波(27～50MHz)，マイクロ波(2450MHz)が用いられる。このような発光分析で用いられる分析用プラズマは，前述の温度に加え，電子密度が1014～1016個/cm3の中電離プラズマである。…
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出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」