世界大百科事典（旧版）内の最小線幅の言及
【集積回路】より
…その後電卓や時計などのICとして著しい技術の進展を見，70年に1キロビットのMOSダイナミックメモリーICが出現して，それ以来MOS技術はVLSIの先端を開くパイオニアとなった。
［集積回路の限界］
集積回路技術の進歩の指標として集積度と最小線幅がある。集積度が大きいほど，1チップに多くの素子を入れることができる。…
※「最小線幅」について言及している用語解説の一部を掲載しています。
出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」
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