世界大百科事典（旧版）内の残留ガス分析計の言及
【真空計】より
…得られたデータから成分の組成と分圧とを算出することは，原理的には可能であるが，精度が悪く，ほとんど行われていない。定性的な，あるいは半定量的な分析に使用されるので，真空分析計vacuum analyzer，あるいは残留ガス分析計residual gas analyzer(RGA)と呼ばれることが多い。【中山 勝矢】。…
※「残留ガス分析計」について言及している用語解説の一部を掲載しています。
出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」
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