世界大百科事典（旧版）内の軸流分子ポンプの言及
【真空ポンプ】より
…分子ポンプは作動，停止に時間を要さず，作動油などの影響を受けなくてすむ利点をもつが，補助ポンプを必要とし，大型のものは製作困難である。このポンプにはいくつかの形式があるが，軸流送風機と同じ構造の軸流分子ポンプは，気体通路，排気速度が大きく，超高真空ポンプとして利点が大きい。到達圧力はN2ガスの場合10－10Torrで，10－2～10－8Torrにわたり，ほぼ一定の排気速度をもつ。…
※「軸流分子ポンプ」について言及している用語解説の一部を掲載しています。
出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」
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