軸流分子ポンプ（読み）じくりゅうぶんしぽんぷ

世界大百科事典（旧版）内の軸流分子ポンプの言及

【真空ポンプ】より

…分子ポンプは作動，停止に時間を要さず，作動油などの影響を受けなくてすむ利点をもつが，補助ポンプを必要とし，大型のものは製作困難である。このポンプにはいくつかの形式があるが，軸流送風機と同じ構造の軸流分子ポンプは，気体通路，排気速度が大きく，超高真空ポンプとして利点が大きい。到達圧力はN₂ガスの場合10^－10Torrで，10^－2～10^－8Torrにわたり，ほぼ一定の排気速度をもつ。…

※「軸流分子ポンプ」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」