世界大百科事典(旧版)内の軸流分子ポンプの言及
【真空ポンプ】より
…分子ポンプは作動,停止に時間を要さず,作動油などの影響を受けなくてすむ利点をもつが,補助ポンプを必要とし,大型のものは製作困難である。このポンプにはいくつかの形式があるが,軸流送風機と同じ構造の軸流分子ポンプは,気体通路,排気速度が大きく,超高真空ポンプとして利点が大きい。到達圧力はN2ガスの場合10-10Torrで,10-2~10-8Torrにわたり,ほぼ一定の排気速度をもつ。…
※「軸流分子ポンプ」について言及している用語解説の一部を掲載しています。
出典|株式会社平凡社「世界大百科事典(旧版)」