高周波スパッタリング(読み)こうしゅうはすぱったりんぐ

世界大百科事典(旧版)内の高周波スパッタリングの言及

【薄膜】より

…したがってターゲットは陰極上におかれたり陰極そのものが用いられたりする。ターゲットが絶縁物のときは帯電を防ぐため107Hz程度の交流をかける(高周波スパッタリング)。またイオンの生成の効率をあげるため,ターゲット近傍に磁場をかける方法をマグネトロンスパッタリングといい,現在工業的に利用される方法はほとんどこの形である。…

※「高周波スパッタリング」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典|株式会社平凡社「世界大百科事典(旧版)」

中国のゴビ砂漠などの砂がジェット気流に乗って日本へ飛来したとみられる黄色の砂。西日本に多く,九州西岸では年間 10日ぐらい,東岸では2日ぐらい降る。大陸砂漠の砂嵐の盛んな春に多いが,まれに冬にも起る。...

黄砂の用語解説を読む