世界大百科事典（旧版）内の高周波スパッタリングの言及
【薄膜】より
…したがってターゲットは陰極上におかれたり陰極そのものが用いられたりする。ターゲットが絶縁物のときは帯電を防ぐため107Hz程度の交流をかける(高周波スパッタリング)。またイオンの生成の効率をあげるため，ターゲット近傍に磁場をかける方法をマグネトロンスパッタリングといい，現在工業的に利用される方法はほとんどこの形である。…
※「高周波スパッタリング」について言及している用語解説の一部を掲載しています。
出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」