世界大百科事典（旧版）内の高真空ポンプの言及
【真空ポンプ】より
…真空ポンプは1基で1atm以下の全領域にわたる真空を作りだす機能はもたず，2基以上のものを組み合わせる必要がある。この場合，排気気体を大気に放出させる補助ポンプを併用し，高真空を作りだすポンプをとくに高真空ポンプと呼び，拡散ポンプ，分子ポンプなどがある。補助ポンプには油回転ポンプ，ソープションポンプなどがある。…
※「高真空ポンプ」について言及している用語解説の一部を掲載しています。
出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」