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ionization gauge ionizationgauge

世界大百科事典内のionization gaugeの言及

【真空計】より

…高真空領域では,熱電子によって気体分子を電離し,その結果生成したイオンの量を測るという方法が一般的である。これを電離真空計ionization gaugeという。やや高い圧力まで測定できるものをシュルツ型といい,超高真空領域まで使用できるよう改善されたものをB‐A型と呼ぶ。…

※「ionization gauge」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典|株式会社日立ソリューションズ・クリエイト世界大百科事典 第2版について | 情報

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