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lift-off liftoff

世界大百科事典内のlift-offの言及

【フォトファブリケーション】より

…エッチング法より精度の高い微細加工ができるが,材質がめっき可能な金属であることと,厚さの限界が数十μmであるために用途が限られている。
[リフトオフlift‐off]
 フォトレジストのパターンを形成した後,全体に薄い膜を形成し,レジストパターンを除去することによりレジストのなかった部分のみに膜を残す方法をリフトオフ法という。蒸着膜のような薄い膜の高精度のパターン形成に適しているため,集積回路の製造工程などマイクロリソグラフィーの分野でよく使われている。…

※「lift-off」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

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