MBE（読み）エムビーイー（その他表記）MBE

デジタル大辞泉

エム‐ビー‐イー【MBE】［molecular-beam epitaxy］

《molecular beam epitaxy》⇒分子線エピタキシー

出典　小学館

世界大百科事典（旧版）内のMBEの言及

【エピタキシー】より

…これらの製作には，気相で成長させる方法(シリコン，ヒ化ガリウム)や溶液相で成長させる方法(リン化ガリウム，希土鉄酸化物ザクロ石)が使用されている。　1970年ころから超高真空中での蒸着や分子線を用いる方法(MBE。molecular beam epitaxyの略)，有機金属化合物を用いる方法，基板上の薄い多結晶や非晶質薄膜を加熱して固相のまま，あるいは一部融解させてエピタキシー成長させる方法の開発も進んでおり，一部実用化されている。…

【分子線】より

…原子線や分子線を利用した研究としては，磁場による銀の原子線分岐を観測し，電子のスピン導入の糸口となったシュテルン=ゲルラハの実験(1921)がよく知られているが，この方法はその後，分子や原子の微細なエネルギー構造を研究する磁気共鳴法へと発展した。このほか，アンモニアメーザーなどへの利用もあり，また最近では，分子線を利用して，シリコンなどの表面に，必要な分子を下地と整合性を保ちながら成長させる分子線エピタキシー法(MBE。molecular beam epitaxyの略)により，IC(集積回路)やLSI，超LSIなどを製作する技術が急速に発達しつつある。…

※「MBE」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」