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metallization metallization

翻訳|metallization

世界大百科事典内のmetallizationの言及

【薄膜】より

…Al蒸着膜は反射望遠鏡の反射鏡をはじめ各種の鏡,装飾用プラスチックコーティングなどのほか,IC回路中の電極,リードなどにも用いられる。一般に半導体,絶縁体上に導体薄膜を形成することをメタライゼーションmetallizationといい,ICのメタライゼーションは,Au薄膜‐Pt薄膜‐Ti薄膜などのような多層膜構造になりつつある。古くからある応用には,レンズの反射防止膜,干渉フィルター,コールドミラーなど光の干渉効果を利用した薄膜があり,これには,MgF2,TiO2,ZrO2などの真空蒸着膜,イオンプレーティング膜が使われる。…

※「metallization」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

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