metallization（その他表記）metallization

世界大百科事典（旧版）内のmetallizationの言及

【薄膜】より

…Al蒸着膜は反射望遠鏡の反射鏡をはじめ各種の鏡，装飾用プラスチックコーティングなどのほか，IC回路中の電極，リードなどにも用いられる。一般に半導体，絶縁体上に導体薄膜を形成することをメタライゼーションmetallizationといい，ICのメタライゼーションは，Au薄膜‐Pt薄膜‐Ti薄膜などのような多層膜構造になりつつある。古くからある応用には，レンズの反射防止膜，干渉フィルター，コールドミラーなど光の干渉効果を利用した薄膜があり，これには，MgF₂,TiO₂,ZrO₂などの真空蒸着膜，イオンプレーティング膜が使われる。…

※「metallization」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」