世界大百科事典（旧版）内のスパッタリング作用の言及
【イオンプレーティング】より
…これを一般にイオン処理と呼び，目的に応じてイオン窒化，イオン浸炭などという。放電雰囲気内ではイオン衝撃により被処理材表面の酸化物皮膜が除去される(スパッタリング作用)ので，高クロム鋼のように従来の方法では処理困難な材料にも適用できる利点がある。浸炭窒化【増子 昇】。…
【核融合炉】より
…容器内で壁から隔離して閉じ込められたプラズマを数億度という超高温に加熱し，そのとき起こる熱核融合反応によってエネルギーを取り出そうとする装置。
【熱核融合プラズマの条件】
熱核融合を起こすには，プラズマを閉じ込め，外部から十分高温になるまで加熱する必要がある。反応によって放出されるエネルギーとそれに必要とされるエネルギーの比Qfは核融合利得と呼ばれ，とくにプラズマが反応生成物による自己加熱状態にあれば，外部からの加熱は不必要でQf＝∞である。…
【集積回路】より
…通常はICと略称され，〈二つ，またはそれ以上の回路素子のすべてが，一つの基板上または基板内に組み込まれている回路であり，設計から製造，試験，運用に至るまで各段階で一つの単位として取り扱われるもの〉と定義されている。ここで基板substrateというのは，トランジスターやICがその上に形成される単結晶素材で，通常は元素半導体であるシリコンが使用されるが，高性能ICに対しては，化合物半導体であるガリウムヒ素GaAsが使用される。…
【薄膜】より
…〈うすまく〉ともいい，コーティングcoating，あるいは単に膜などとも呼ぶ。類語として，foil,layerがあるが，現在は，前者には箔，後者には層という訳語がつけられている。広義には，日常感覚で薄いと考えられる物体すべての総称であり，したがって，シャボン玉，水の上に広がった灯油，包装用プラスチック，アルミ箔なども薄膜と称されることもあるが，学術用語としては，以下に述べるようにやや限定された使い方がなされる。…
※「スパッタリング作用」について言及している用語解説の一部を掲載しています。
出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」