ターボ形真空ポンプ（読み）たーぼがたしんくうぽんぷ

世界大百科事典（旧版）内のターボ形真空ポンプの言及

【真空ポンプ】より

…　このほか小型用として，ベーン圧縮機を使用するベーン真空ポンプがあるが，到達圧力は1段で50Torrくらいである。(3)ターボ形真空ポンプ　これには遠心式真空ポンプなどがあり，比較的圧力比の小さい送風機が排風機として吸込側に用いられる。また，特殊な例として多段遠心圧縮機を抄紙機用の真空ポンプに用いることがある。…

※「ターボ形真空ポンプ」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」